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inficon 美國INFICON公司 氦質譜檢漏儀
UL1000氦質譜檢漏儀
在檢測低至 10-12 atm cc/s 泄漏的穩定性和敏感度方面具有新的表現
Ø         CAL(智能漏率計演算)確保在全部測量范圍內閃電般的快速響應
Ø         可旋轉顯示器/控制界面和可選遙控手持控制器提高操作的靈活性
Ø         更為方便的移動式
Ø         連接口均位于一側
Ø         可靠性更高的真空系統
Ø         通過e-mail軟件升級可始終保持UL1000的*佳性能
Ø         離子源三年保修期
UL1000氦質譜檢漏儀的詳細資料:
Ø         INFICON UL1000 型氦檢漏儀尤其適用于元件精確檢漏的要求,靈活性測試,高靈敏度,快速于精確的結果,快速啟動,移動性和系統的可靠性。
UL1000符合做微電子工業市場的要求。其特點從堅固的金屬外殼并帶有適用于潔凈室的輪子,還有I-CAL(智能化漏率計算系統),無與倫比的 噪聲抑制濾波,柔性均值算法和漂移抑制功能。用于消除在10-11至10-12超高靈敏漏率范圍中長時間平衡的程序。
系統軟件包含帶有故障查找指令的先進自診斷程序。并可調用防止氦氣或工藝氣體污染的保護性功能。UL1000的通風系統不會干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并消除氦污染。
UL1000具有可轉動的控制界面,裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測量結果于狀態信息,這樣可遠距離方便地觀察讀值。
應用:
Ø         半導體工藝設備的維護,該設備本身帶或未帶有真空泵
Ø         工藝氣體系統的檢測與安裝
Ø         元器件在組裝前的漏率測試
Ø         要求高抽速、高靈敏度以及清潔測試條件的應用場合
 



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